多重光束微机械系统及方法

摘要

本发明揭示一种用于传递能量至基板的系统及方法，其包括一用于提供复数个辐射光束的可动态引导之辐射能量源，每一辐射光束均在动态可选择方向上传播。复数个光束操纵元件中的复数个独立可定位光束操纵元件接收光束并将其引导至基板上的可选择之位置。复数个雷射光束聚焦模组与复数个光束操纵元件相关联，来将每一光束聚焦至该基板之上。