基板温控装置

摘要

一种基板温控装置，应用于基板利用电浆钻石镀膜时，降低因温度变化过剧所产生的翘曲，主要于承座上装设有温度感应器、冷却器与加热器，当施加电浆加工时，侦测到温度改变过大时，利用冷却器或是加热器来控制基板之上、下表面温度，使两侧温度控制在一定范围内，降低翘曲的产生。