擦净装置,具备彼之描绘装置,光电装置的制造方法,光电装置及电子机器

摘要

擦净装置103之特征是至少具备有至少覆盖供给卷轴131、卷带卷轴132、擦拭构件151及喷雾头202，和经由上述擦拭构件151而自上述供给卷轴131至上述卷带卷轴132的上述擦净薄片111之薄片输送路径的覆盖箱117，并在上述覆盖箱117上形成有上述擦拭构件151突出的构件开口261。