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发明名称 FARADAY CUP ASSEMBLY OF ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR20050080203(A) 申请公布日期 2005.08.12
申请号 KR20040008205 申请日期 2004.02.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, SUN HO
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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