具有电荷转移感应能障壁之氮化物异质接合面电晶体及其制造方法

摘要

本发明揭示一种以氮化物为主之场效电晶体，该以氮化物为主之场效电晶体包括：一基板、包含形成于该基板上之氮化铟铝镓(InAlGaN)的一通道层、可与该通道层进行电子通信的源极及汲极欧姆接触、及形成于该通道层上之一闸极接触。至少一能障壁可以制止载子移动离开该通道层。该能障壁可包含接近一电洞源层之可产生受引离开该通道之关连电场的一电子源层。根据部分具体实施例之一能障壁可提供超过约0.5eV的内建电位障壁。本文亦揭露方法具体实施例。