| 摘要 |
本发明系关于一种光罩及光罩固持器之组件，其中该光罩固持器(1)之状态系可于型闭合光罩阻塞状态与光罩释放状态之间进行调整，其中当该光罩固持器(1)处于阻塞状态时，该光罩固持器(1)系配置成于至少一方向(X、Y、Z)至少以型闭合方式固持该光罩(MA)，其中当该光罩固持器(1)处于释放状态时，该光罩固持器(1)系配置成释放该光罩(MA)。本发明亦系关于一种包含一由一光罩(MA)与一光罩固持器(201)组成之组件以及至少一侦测器(250)之系统，其中该光罩(MA)包含一或多个标记(MRK)，其中该光罩固持器(201)及该侦测器(250)系配置成相对于彼此运动地(kinematically)对准，其中该侦测器(250)系配置成侦测该光罩标记(MRK)，藉此以相对于光罩固持器(201)方式来定位光罩(MA)。 |
