发明名称 闸极结构、具有此闸极结构的半导体元件以及形成此闸极结构与半导体元件的方法
摘要 本发明揭示包括在一垂直方向延伸自一半导体基底的一闸极结构的一种金氧半导体电晶体。该闸极结构包括在一垂直方向延伸自该基底的一闸极电极,及包围该闸极电极的一闸极绝缘层。一通道图案包围该闸极绝缘层,及一第一导电图案在一垂直该通道图案的第一方向延伸自该通道图案的一下部部分,且与该基底平行。一第二导电图案在一垂直该通道图案的第二方向延伸自该通道图案的一上部部分,且与该基底平行。因此,该金氧半导体电晶体的通道长度系根据介于该第一及第二导电图案之间的一距离而决定,且该金氧半导体电晶体的通道宽度系藉由该闸极结构的一直径而决定。
申请公布号 TW200529304 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW094104597 申请日期 2005.02.17
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 尹在万;朴东健;李忠浩;吉田诚;李哲
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 韩国