移除晶圆边缘金属装置与方法

摘要

本发明系关于一种移除晶圆边缘金属装置与方法，此装置包括：一浴槽，用以装载一化学溶液；一可旋转晶圆基座，用以握持相对垂直于该化学溶液之一半导体晶圆，其中至少该晶圆之边缘覆盖有一金属层；以及一滑动元件，设置于该转动晶圆基座之一端，使得该转动晶圆基座可沿垂直于该化学洗涤液之方向移动。