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发明名称
用于处理平板状基板的设备
摘要
为了使用于涂覆玻璃板(4)之设备可更为可靠地操作,本发明建议修改使用于该设备中之光障壁(5)。有一列的个别电池(16)在此等光障壁(5)的接收机面上,根据通经光障壁(5)的射线途径之玻璃板(4)厚度,此等电池或多或少被遮蔽。某些电池(16)总是放出显着降低之信号,可将此信号评估成为一个目标存在于射线途径中之可靠指示。
申请公布号
TW200534327
申请公布日期
2005.10.16
申请号
TW093111804
申请日期
2004.04.28
申请人
应用薄膜两合股份有限公司
发明人
安诺德奥雷士;曼富雷德韦曼;戴克雷姆林格;艾佛烈瑞克;霍格雷沙;富兰克莫坦斯;安德烈斯萨尔;哈拉德渥斯特
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
何金涂;林荣琳
主权项
地址
德国
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