变焦光学系统

摘要

本发明系揭示一种具有一透镜系统之变焦光学系统，该透镜系统包括一第一透镜，其系配置成为一辐射束提供一连续变化的焦点。该透镜系统进一步包括一可切换光学元件，其包括一第一流体、一第二流体及一波前修正器，该辐射束系配置成穿过该波前修正器之一部件。于一第一模式中，该可切换光学元件具有一第一流体组态，其中该部件实质上系由该第一流体覆盖，而于一第二模式中，该可切换光学元件具有一不同的第二流体组态，其中该部件实质上系由该第二流体覆盖。