电路图案检查装置及电路图案检查方法

摘要

本发明提供可以确实而且容易地检测电路基板之不良之电路检查装置。在检查被配置成列状之检查对象图案时，以保持与图案离开指定距离之状态，使检查信号供给电极35和检查信号检测感测器电极25，以横过检查对象图案之方式，移动到检查对象图案15，同样利用与检查对象图案电容耦合之感测器电极，检测利用电容耦合从供给电极35供给到检查对象图案15之检查信号，当检测信号值为某种程度之连续之一定值之情况时，判断为良品，当具有急遽之检测信号值之变化之情况时，判断为不良。