微奈米光栅之制作方法

摘要

本发明系为一种微奈米光栅之制作方法，其系在于基板上利用隔材制作形成有通路，该通路之前端系间隔成有多个入口，并分别供蚀刻液及隔离液呈间隔交错注入，而控制该等液体之雷诺数小于2100，利用层流〔Laminar〕之特性，使该等间隔之蚀刻液及隔离液不会互相融合，并使每一层之蚀刻液于基板上蚀刻形成光栅线路者。