浸渍微影技术及产品

摘要

在一种浸渍微影方法中，光阻层(20)具有一屏蔽层(30)，以保护该光阻层(20)不因接触该浸渍液而劣化。屏蔽层(30)对于曝光波长透明，并实质上能阻止浸渍液渗入(并较佳不溶于浸渍液)。可使用一种能用显影剂移除之材料形成屏蔽层(30)，其中该显影剂与曝光后用于使该光阻层(20)显影之显影剂相同。