发明名称 FABRICATION METHOD OF THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR20050116432(A) 申请公布日期 2005.12.12
申请号 KR20040041323 申请日期 2004.06.07
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, KI MIN
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L27/01;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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