| 主权项 |
1.一种有机电激发光显示面板显影设备,包含:一显影单元,具有至少一显影槽,用来提供一显影液,以使该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板之表面上,其系将有机电激发光显示面板浸置于显影液中或喷洒显影液于该有机电激发光显示面板;一水洗单元,具有至少一水洗槽,系与该最后端之显影单元连接,用来喷洒一循环清洗液或新鲜清洗液于该有机电激发光显示面板,以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留之显影液;一乾燥单元,具有至少一空气吹乾装置,以乾燥经该水洗单元处理过之有机电激发光显示面板;以及一传送单元,以连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送于该显影单元,水洗单元以及该乾燥单元;其中,该传送单元于该显影设备中系以定速率传送该有机电激发光显示面板。2.如申请专利范围第1项所述之显影设备,其中该显影装置更包含有一下载单元,系与该乾燥单元相连接,以装载完成显影处理之该显示面板,或提供一缓冲区使该显示面板基板直接进入后续的制程模组。3.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其更包含一控制单元以控制或调整该传送单元中传送该有机电激发光显示面板之速率。4.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影单元更包括至少一温度控制装置以控制或保持该显影槽之温度。5.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影单元更包括至少一显影液喷洒装置以均匀喷洒该显影液于该传送中之有机电激发光显示面板。6.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影单元更包括至少一显影液储存槽以储存或回收该显影液,该显影液储存槽并与该显影液喷洒装置连结。7.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影单元更包括至少一显影液浓度监测装置以控制或监测该显影液之浓度。8.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影单元更包括一显影液自动补充装置。9.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影液喷洒装置成交叉分布,并可于显影液喷洒时来回摆动以使显影液喷洒均匀。10.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该水洗单元包含一第一水洗槽以及一第二水洗槽;其中该第一水洗槽系收集并使用第二水洗槽清洗后之循环水清洗该有机电激发光显示面板,且该有机电激发光显示面板系先经由第一水洗槽清洗后,再经第二水洗槽清洗。11.如申请专利范围第9项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该第二水洗单元系以去离子水清洗该有机电激发光显示面板。12.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该传送单元为传动滚轮。13.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该显影液为TMAH或氢氧化钠。14.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该空气吹乾装置为风刀。15.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光显示面板显影设备,其中该有机电激发光显示面板表面具有一光阻层或一聚亚醯胺(Polyimide)层。16.一种有机电激发光显示面板显影方法,系包含以下之步骤:(一)于一显影槽中将一显影液均匀喷洒于该有机电激发光显示面板表面进行显影,并于该显影槽中以定速率将该有机电激发光显示面板自该显影槽之一端传送至该显影槽之另一端;(二)以水第一次清洗将该已显影之有机电激发光显示面板;(三)以水第二次清洗将该已经第一次清洗之有机电激发光显示面板;以及(四)以空气吹除或吹乾该有机电激发光显示面板;其中该第一次清洗使用之水系为第二次清洗后收集之循环水。17.如申请专利范围第16项所述之有机电激发光显示面板显影方法,其中该有机电激发光显示面板于一定显影液温度下于该显影槽显影。18.如申请专利范围第17项所述之有机电激发光显示面板显影方法,其中该显影槽包括至少一显影液喷洒装置以均匀喷洒该显影液于该传送中之有机电激发光显示面板。19.如申请专利范围第16项所述之有机电激发光显示面板显影方法,其中该有机电激发光显示面板系以风刀进行空气吹乾。20.如申请专利范围第15项所述之有机电激发光显示面板显影方法,其中该有机电激发光显示面板表面具有一光阻层或一聚亚醯胺(Polyimide)层。图式简单说明:第1图系本发明有机电激发光显示面板显影设备之一较佳例之示意图。第2图系本发明有机电激发光显示面板显影设备另一较佳例之示意图。 |
