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发明名称 KÜHLMITTEL-ENTGASUNGSMETHODE FÜR EINE ESFR-KAMMER
摘要
申请公布号 AT313367(T) 申请公布日期 2006.01.15
申请号 AT19990938950T 申请日期 1999.08.03
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 JOHNSON, WAYNE, L.
分类号 H05H1/46;B01D19/00;B01D53/14;C23C16/44;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01D19/00 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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