基板处理装置与方法

摘要

此基板处理装置至少包含一处理液供给单元、一喷嘴单元、一第一控制阀以及一第二控制阀。处理液供给单元具有一输出埠以及一输入埠，自输出埠输出一处理液。喷嘴单元具有一第一埠以及一第二埠，第一埠连接处理液供给单元之输出埠。第一控制阀连接于喷嘴单元之第二埠以及处理液供给单元之输入埠之间。第二控制阀连接于喷嘴单元之第二埠以及处理液供给单元之输出埠之间。而且，第一控制阀与第二控制阀之开关状态系为相反的状态，藉由两者的开关状态组合以控制喷嘴单元是否涂布处理液于基板之上。