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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS HAVING DETACHABLE CHAMBERS AND SUBSTRATE PROCESS SYSTEM HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100555340(B1) 申请公布日期 2006.02.20
申请号 KR20050037065 申请日期 2005.05.03
申请人 BROOKS AUTOMATION ASIA LTD. 发明人 JUNG, SEUNG BAE;KIM, YONG KI;CHEON, HYUN;JEONG, JIN HWANG
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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