发明名称 INTERIOR ANTENNA FOR SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR200409518(Y1) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20050032802U 申请日期 2005.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址