| 主权项 |
1.一种工作物处理装置之处理精度检查装置,其系 藉由搭载有进行工作物及工作物处理的工作物处 理机构之移动机构,一边使上述工作物处理机构与 上述工作物相对地移动,一边在上述工作物表面进 行工作物处理者,其特征在于具备有: 点描手段,其系与上述工作物处理机构并设而搭载 于上述移动机构,随着上述工作物及上述工作处理 机构的相对性移动,使同调光照射于上述工作物, 并在上述工作物上进行可视认的点描;及 点描控制手段,其系以特定的频率时序点描驱动上 述点描手段。 2.一种液滴吐出装置的描绘精度检查装置,其系藉 由搭载工作物及机能液滴吐出喷头之移动机构,一 边使上述机能液滴吐出喷头与上述工作物相对地 移动,一边从该机能液滴吐出喷头选择性吐出机能 液滴以进行描绘者,其特征在于具备有: 点描手段,其系与上述机能液滴吐出喷头并设而搭 载于上述移动机构,随着上述工作物及上述机能液 滴吐出喷头的相对性移动,使同调光照射于上述工 作物,并在上述工作物上进行可视认的点描;及 点描控制手段,其系以特定的频率时序点描驱动上 述点描手段。 3.如申请专利范围第2项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,更具备有:影像辨识上述点描手 段之点描结果的影像辨识手段。 4.如申请专利范围第2项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,上述点描手段系由振荡或聚焦 而照射雷射光的雷射照射机构所构成。 5.如申请专利范围第2项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,上述点描控制手段系依据来自 上述机能液吐出喷头的喷头驱动器所取得的吐出 时序信号,点描驱动上述点描手段。 6.如申请专利范围第5项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,上述机能液滴吐出喷头系为了 描绘检查进行吐出驱动,上述点描控制手段与上述 机能液滴吐出喷头之吐出驱动同步,并点描驱动上 述点描手段。 7.如申请专利范围第6项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中上述点描控制手段系具有延迟手 段,该延迟手段系用以使上述点描手段的点描驱动 延迟从上述机能液滴吐出喷头吐出机能液至该机 能液击中上述工作物上为止的时间分。 8.如申请专利范围第2项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,更具备有至少取代上述工作物 的点描部位,与上述工作物并设的目标板。 9.如申请专利范围第2项之液滴吐出装置的描绘精 度检查装置,其中,更具备有替代上述工作物之检 查用的替身工作物。 10.一种液滴吐出装置,其特征在于具备有申请专利 范围第2项之液滴吐出装置的描绘精度检查装置。 11.一种工作物,其系藉由申请专利范围第10项之液 滴吐出装置进行描绘的工作物,其特征在于, 在机能液滴吐出区域之外的区域上具有上述点描 手段之点描区域及上述机能液滴吐出喷头之检查 用的描绘区域。 12.如申请专利范围第11项之工作物,其中,在上述点 描区域藉由上述点描手段的照射光涂敷有成色或 变色的色素。 13.一种光电装置,其特征在于系使用申请专利范围 第10项之液滴吐出装置,从上述机能液滴吐出喷头 吐出机能液滴至工作物上,以形成成膜部。 14.一种光电装置之制造方法,其特征在于系使用申 请专利范围第10项之液滴吐出装置,从上述机能液 滴吐出喷头吐出机能液滴至工作物上,以形成成膜 部。 15.一种电子机器,其特征在于系搭载申请专利范围 第13项之光电装置。 16.一种电子机器,其特征在于系搭载藉由申请专利 范围第14项之光电装置的制造方法所制造的光电 装置。 图式简单说明: 第1图系模式显示本发明一实施形态之液滴吐出装 置的平面图。 第2图系模式显示实施形态之液滴吐出装置的正面 图。 第3图系液滴吐出装置的检查结果亦即描绘点及点 描点的状态之平面图。 第4图系表示液滴吐出装置的控制手段之方块图。 第5图系表示雷射照射装置的旋转系统之方块图。 第6图系其他检查结果亦即描绘点及点描点的状态 之平面图。 第7图系吸附胶带所设置的目标板旋转之平面图。 第8A图及第8B图系检查结果亦即描绘点及点描点的 状态之平面图。 第9图系藉由本发明之液滴吐出装置所制造的液晶 显示装置的剖面图。 第10图系藉由本发明之液滴吐出装置所制造的有 机EL装置的剖面图。 |
