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发明名称 FOCUS RING OF DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100714896(B1) 申请公布日期 2007.05.04
申请号 KR20050049036 申请日期 2005.06.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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