OPTICAL ELEMENT

摘要

본 발명의 광학 소자는 기체 위에 사용 환경하의 광 파장 이하의 최빈 피치를 갖는 복수의 미소한 오목부가 형성된 반사 방지층을 구비하고, 오목부의 80％ 이상이 1개 이상의 스텝을 가지며, 0.12d≤w≤0.17d 및 0.42h≤z≤0.52h의 관계식을 만족한다. 단, d는 상기 오목부의 직경이고, h는 상기 오목부의 깊이이며, w는 임의의 절단면에 있어서의 각 스텝의 폭의 합계이고, z는 이들 각 스텝의 깊이의 평균값이다.