| 摘要 |
본 발명은 압력식 유량 제어부가 구비한 높은 내압력 변동 특성을 유효하게 이용하여 빌드다운식 유량 모니터부를 압력식 유량 제어부의 상류측에 조합함으로써 리얼 타임에 근접한 유량 모니터를 행할 수 있음과 아울러, 모니터 유량을 이용하여 압력식 유량 제어부의 설정 유량을 자동 조정할 수 있고, 또한 장치의 대폭적인 소형화 및 저비용화를 가능하게 한 유량 모니터 부착 유량 제어 장치를 제공한다. 본 발명은 상류측에 설치한 빌드다운식 유량 모니터부(BDM)와, 그 하류측에 설치한 압력식 유량 제어부(FCS)와, 빌드다운식 유량 모니터부(BDM)와 압력식 유량 제어부(FCS)를 연결하여 빌드다운식 유량 모니터부(BDM)의 모니터 유량(Q)을 압력식 유량 제어부(FCS)에 전송하는 신호 전송 회로(CT)와, 압력식 유량 제어부(FCS)에 설치되어 상기 빌드다운식 유량 모니터부(BDM)로부터의 모니터 유량(Q)에 의해 압력식 유량 제어부(FCS)의 설정 유량(Qs)을 조정하는 유량 설정값 조정 기구(QSR)로 구성된다. |
