| 摘要 |
[과제] 하전 입자빔을 이용하여, 스테이지의 이동 오차를 저감시켜 복잡하고 미세한 패턴을 형성한다. [해결수단] 하전 입자빔을 발생하는 빔 발생부와, 시료를 탑재하고, 해당 시료를 빔 발생부에 대하여 상대적으로 이동시키는 스테이지부와, 스테이지부의 위치를 검출하는 검출부와, 스테이지부의 검출 위치에 기초하여, 스테이지부의 구동량을 예측한 예측 구동량을 생성하는 예측부와, 예측 구동량에 기초하여, 하전 입자빔을 시료에 조사하는 조사 제어를 행하는 조사 제어부를 구비하는 노광 장치 및 노광 방법을 제공한다. |
