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发明名称 VORRICHTUNG ZUM AETZEN, SPUELEN USW. VON KOERPERN, INSBESONDERE VON HALBLEITERKOERPERN
摘要
申请公布号 DE2248185(A1) 申请公布日期 1973.04.12
申请号 DE19722248185 申请日期 1972.09.30
申请人 N.V.PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 ARNOLDUS APPELS,JOHANNES;ADRIANUS VERSCHUREN,MARTINUS;MATHILDA NIJDAM-PAFFEN,MARIA MAGDALENA
分类号 C23F1/08;C23G3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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