Verfahren zum Erzeugen eines Elektronenstrahls und/oder Elektronenpulses sowie eine Elektronenquelle und deren Verwendung

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronenstrahls und/oder eines Elektronenpulses, bei dem eine sich verjüngende metallische Struktur (14) mit einer Nanospitze (15) zum Abgeben von Elektronen verwendet wird, die metallische Struktur (14) als eine Kathode (11) verwendet wird, eine Spannung an die metallische Struktur (14) angelegt wird, und mit einem ersten Lichtstrahl (19) die metallische Struktur (14) bestrahlt wird. Um eine höhere zeitliche Auflösung zu ermöglichen ist das Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Struktur (14) mit einem weiteren Lichtstrahl (25) bestrahlt wird, wobei aufgrund der Bestrahlung der metallischen Struktur (14) mit dem ersten Lichtstrahl (19) und dem weiteren Lichtstrahl (25) der Elektronenstrahl und/oder der Elektronenpuls erzeugt wird.