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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4861076(A) 申请公布日期 1973.08.27
申请号 JP19710097675 申请日期 1971.12.03
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/316;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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