| 发明名称 |
Vorrichtung zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial durch Flüssigphasenepitaxie aus mindestens zwei Lösungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH541353(A) |
申请公布日期 |
1973.09.15 |
| 申请号 |
CH19720016850 |
申请日期 |
1972.11.20 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
SCHEEL,HANS-JOERG |
| 分类号 |
H01L47/02;C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/04 |
主分类号 |
H01L47/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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