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发明名称
VACUUM DEPOSITION OF VAPOURIZED METALS OR METAL COMPOUNDS
摘要
申请公布号
GB1334599(A)
申请公布日期
1973.10.24
申请号
GB19710020227
申请日期
1971.04.19
申请人
BOSCH GMBH ROBERT
发明人
分类号
C23C14/30;C23C14/54;H01J37/304;H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/00;C23C13/02;C23C13/04;C23C13/12
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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