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发明名称
摘要
申请公布号	JPS497628(B1)	申请公布日期	1974.02.21
申请号	JP19680069516	申请日期	1968.09.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/28	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
地址

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