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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4914111(B1) 申请公布日期 1974.04.05
申请号 JP19680079129 申请日期 1968.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/763;H01L21/20;H01L21/205;H01L29/861 主分类号 H01L21/763
代理机构 代理人
主权项
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