发明名称
摘要
申请公布号 JPS4917916(B1) 申请公布日期 1974.05.04
申请号 JP19690068324 申请日期 1969.08.30
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;A47B61/04;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/331;H01L27/00;(IPC1-7):H01L11/06 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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