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发明名称
摘要
申请公布号
JPS4953384(A)
申请公布日期
1974.05.23
申请号
JP19720096009
申请日期
1972.09.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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