发明名称
摘要
申请公布号 JPS4953384(A) 申请公布日期 1974.05.23
申请号 JP19720096009 申请日期 1972.09.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址