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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4952982(A) 申请公布日期 1974.05.23
申请号 JP19720094546 申请日期 1972.09.22
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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