摘要 |
본 발명은 반도체 스위치 소자를 사용하여 마그네트론 전원 공급 장치를 구성함에 있어, 마그네트론의 초기 구동 시에 발생할 수 있는 스파크 노이즈(spark noise)와 순간 과전류(peak overcurrent)가 마그네트론 전원 장치로 유입되어 반도체 스위치 소자를 손상시키는 것을 방지할 수 있는 스파크 노이즈 필터와 순간 과전류 보호 회로를 구비하는 마그네트론 전원 공급 장치에 관한 것이다. 본 발명은 애노드와 캐소드를 포함하는 마그네트론에 전원을 공급하는 마그네트론 전원 공급 장치로서, 반도체 스위치 소자를 포함하는 전원 스위치, 및 상기 전원 스위치와 직렬 연결되는 전원 콘덴서를 포함하여 구성되는 단위 전원 모듈이 하나 이상 직렬로 연결되어 상기 마그네트론에 펄스 파형의 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 마그네트론의 캐소드를 가열시키기 위한 히터 전원을 공급하는 히터 전원부; 상기 마그네트론의 캐소드와 상기 히터 전원부 사이에 위치하여, 상기 마그네트론에서 발생하는 스파크 노이즈가 상기 히터 전원부로 전달되는 것을 억제하는 스파크 노이즈 필터; 및 상기 마그네트론의 캐소드와 상기 전원 공급부 사이에 위치하여, 상기 마그네트론에서 발생할 수 있는 순간 과전류가 상기 전원 공급부로 전달되는 것을 억제하는 순간 과전류 보호 회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마그네트론 전원 공급 장치를 구현하는 효과를 갖는다. |