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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTES
摘要
申请公布号 DE2512951(A1) 申请公布日期 1975.10.02
申请号 DE19752512951 申请日期 1975.03.24
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 HANAZONO,MASANOBU;ASAI,OSAMU;FUYAMA,MORIAKI;IIMURA,MASAO;YAGI,HIDEYUKI;OKAMURA,MASAHIRO
分类号 H01L29/872;H01L21/00;H01L21/263;H01L29/00;H01L29/47;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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