| 摘要 |
본 발명은 살대형 서포트 시트, 이를 이용한 파인 메탈 마스크 조립체 제조 방법, 제조 장치 및 파인 메탈 마스크 조립체에 관한 것이다. 이는 박막 공정용 파인 메탈 마스크 조립체의 마스크 프레임에 접합되며, 복수의 박막 공정용 단위 패턴부들을 포함하는 파인 메탈 마스크 스틱들의 세트를 상기 마스크 프레임 상에서 지지하기 위한 서포트 시트로서, 상기 서포트 시트의 표면에서 정의되는 서로 직교하는 2개의 방향에서 각각 연장되며, 상기 서포트 시트의 서로 직교하는 2개의 중심축에 대해 서로 대칭적으로 배치되는, 복수의 살대를 포함하여 정의되는 가상 격자; 및 상기 가상 격자의 살대 각각의 양 단부에서 서로 반대 방향으로 돌출된 복수의 돌출단을 포함한다. |
