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发明名称 SHUSEKIKAIROYOMASUKU
摘要
申请公布号 JPS5129875(A) 申请公布日期 1976.03.13
申请号 JP19740102760 申请日期 1974.09.06
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD 发明人 KOBAYASHI KEIJI
分类号 H01L21/027;C03C21/00;C23F1/00;G03F1/60;G03F9/00;H01L21/02;H01L21/312;H05K3/00 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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