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发明名称
HANDOTAISHUSEKIKAIRONO ZETSUENHOHO
摘要
申请公布号
JPS5156186(A)
申请公布日期
1976.05.17
申请号
JP19740130762
申请日期
1974.11.13
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
MATSUI TATSUYA
分类号
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/76
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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