发明名称 HOKOSEIBUTSUTAIKYOKYUSOCHI
摘要
申请公布号 JPS5157168(A) 申请公布日期 1976.05.19
申请号 JP19740131822 申请日期 1974.11.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAZAKI MITSURU;NISHIMURA SEIJI
分类号 B65G47/14;B65G47/00;B65G47/78;H01L21/48;H01L21/50 主分类号 B65G47/14
代理机构 代理人
主权项
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