发明名称 |
HOKOSEIBUTSUTAIKYOKYUSOCHI |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5157168(A) |
申请公布日期 |
1976.05.19 |
申请号 |
JP19740131822 |
申请日期 |
1974.11.14 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAZAKI MITSURU;NISHIMURA SEIJI |
分类号 |
B65G47/14;B65G47/00;B65G47/78;H01L21/48;H01L21/50 |
主分类号 |
B65G47/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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