发明名称 FORFARANDE FOR BEHANDLING AV MIKROPLATTOR MED INTEGRERADE KRETSAR OCH ANLEGGNING FOR UTFORANDE AV FORFARANDET
摘要
申请公布号 SE385635(B) 申请公布日期 1976.07.12
申请号 SE19740015529 申请日期 1974.12.11
申请人 COMPAGNIE HONEYWELL BULL 发明人 DEHAINE G;SIGEL P L;HOVART F
分类号 (IPC1-7):01L21/68;01L21/88 主分类号 (IPC1-7):01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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