发明名称 HANDOTAISOCHINO HAISENKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JPS51110287(A) 申请公布日期 1976.09.29
申请号 JP19750034497 申请日期 1975.03.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 SUGATA TAKAYUKI
分类号 H01L21/764;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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