发明名称 MANUFACTURING PROCESS FOR OXIDIZED SILICON FILM
摘要
申请公布号 JPS51118374(A) 申请公布日期 1976.10.18
申请号 JP19750043708 申请日期 1975.04.10
申请人 SHIN NIPPON MUSEN KK 发明人 KITAMURA MASAYOSHI
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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