| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS51140474(A) |
申请公布日期 |
1976.12.03 |
| 申请号 |
JP19750064230 |
申请日期 |
1975.05.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KITADA MASAHIRO;MIZUTANI TATSUMI;KOMATSU HIDEO;ISHII MITSURU |
| 分类号 |
C30B25/18;C23C16/24;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/86;H01L27/12 |
主分类号 |
C30B25/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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