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发明名称 METHOD FOR MEASURING A RADIATION PROPERTY OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS51144584(A) 申请公布日期 1976.12.11
申请号 JP19750068871 申请日期 1975.06.07
申请人 SHIN NIPPON DENKI KK 发明人 MIZOUE SHIGEO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/36 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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