发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5228879(A) |
申请公布日期 |
1977.03.04 |
申请号 |
JP19750105378 |
申请日期 |
1975.08.29 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
AKASAKA YOUICHI;HIROSE YOSHIHIKO;HORIE KAZUO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/08;H01L29/40;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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