发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5228879(A) 申请公布日期 1977.03.04
申请号 JP19750105378 申请日期 1975.08.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AKASAKA YOUICHI;HIROSE YOSHIHIKO;HORIE KAZUO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/08;H01L29/40;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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