发明名称 PROCEDE D'AUGMENTATION DE LA RESISTANCE AUX DECHARGES DISRUPTIVES DANS LE CAS D'UN TIRAGE PAR ZONE SANS CREUSET
摘要
申请公布号 BE848980(A1) 申请公布日期 1977.06.02
申请号 BE19760172896 申请日期 1976.12.02
申请人 发明人
分类号 C30B13/20;C30B13/28;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):B01J/ 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
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