发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS5291361(A) 申请公布日期 1977.08.01
申请号 JP19760007605 申请日期 1976.01.27
申请人 NIPPON ELECTRON OPTICS LAB 发明人 TAMURA NOBUAKI
分类号 H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
地址