| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52101984(A) |
申请公布日期 |
1977.08.26 |
| 申请号 |
JP19760018726 |
申请日期 |
1976.02.23 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SHIMADA TAKASHI;INOUE KENICHI;YAMAGUCHI JIROU;MOCHIZUKI HIDENOBU;OOTSU KOUJI |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/08;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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