一种高灵敏度的双端对谐振式声表面波检测器

摘要

本实用新型涉及一种双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片(1)上的双端对谐振器，在基片(1)上设置有第二叉指换能器(3)，在第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)，第二叉指换能器(3)和第一叉指换能器(2)形成第一间隔，第二叉指换能器(3)和第三叉指换能器(4)形成第二间隔；在第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5)，在第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6)；其中，第一间隔与第二间隔相等，且为上述叉指换能器的波长的0‑3.5倍。

主权项

一种双端对谐振式声表面波检测器，包括制作在基片(1)上的双端对谐振器，其特征在于，在所述基片(1)上设置有第二叉指换能器(3)，在所述第二叉指换能器(3)的两侧分别设置第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)，所述第二叉指换能器(3)和所述第一叉指换能器(2)形成第一间隔，所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)形成第二间隔；在所述第一叉指换能器(2)的另一侧设置有第一金属反射栅阵(5)，在所述第三叉指换能器(4)的另一侧设置有第二金属反射栅阵(6)；其中，所述第一叉指换能器(2)、所述第二叉指换能器(3)和所述第三叉指换能器(4)的同步频率相同；所述第一间隔与所述第二间隔相等，且为所述第一叉指换能器(2)的波长、所述第二叉指换能器(3)的波长或所述第三叉指换能器(4)的波长的0‑3.5倍，其中，所述同步频率与所述波长的关系为：v＝λ×f，式中v为材料中的声速、f为所述同步频率以及λ为所述波长。